Bundeshilfe für Lambda Physik-Lasertechnologie
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BMBF übernimmt bis zu 38 Prozent der F&E-Kosten
Die Lambda Physik AG wird mit Hilfe der Technologieförderung des Bundes bis zum Jahr 2004 bis zu 5 Mio EUR in die 157nm-Lasertechnologie zur Herstellung noch leistungsfähigerer Chipgenerationen investieren. Wie vwd diesbezüglich meldet, werde das Bundesministerium für Bildung und Forschung bis zu 38 Prozent der F&E-Kosten übernehmen. Es sei geplant, die 157nm-Technologie ab 2005/2006 bei der Produktion von Mikrochips in der Halbleiterindustrie erstmalig zu verwenden, so die Meldung weiter.