Die ASML Holding N.V. wird das Micrascan-V-Projekt einstellen. Laut einer vwd-Meldung hat Lambda Physik bereits im Jahresabschluss des am 30. September beendeten Geschäftsjahres 2001 Wertberichtigungen und Risikovorsorge berücksichtigt. Im Auftragsbestand zum 30. September 2001 von 51 Mio. Euro waren die Aufträge nicht enthalten. In die Planzahlen für das laufende Geschäftsjahr seien keine Micrascan-Umsätze eingegangen. Lambda Physik erwartet für das Geschäftsjahr 2002 einen Rückgang der Umsätze von 25 Prozent im Vergleich zu den 2001 erzielten Umsätzen von 137 Mio. Euro.