Das SIRD wird zur Stress-, Slipline- und Defektfindung eingesetzt. Es findet Fehler nicht nur an der Waferoberfläche sondern auch im Wafermaterial selbst. Damit ist der Hersteller in der Lage in frühen Prozessphasen Materialfehler in sehr kurzer Zeit zu detektieren, was neue Qualitätsmaßstäbe setzt. Das SIRD kombiniert mit einem automatischen Handlingssystem ist das ideale Gerät für hohe Waferdurchsätze.
Durch die Bestellung dieser beiden Systeme kann die TePla AG einen Umsatz von ca. 500.000 Euro im Bereich Metrologie verbuchen. Seit der Markteinführung im Jahr 2000 wurden damit insgesamt neun Systeme geordert, konnte man der Meldung weiter entnehmen.
