Die Lambda Physik AG hat mit der Jenoptik Laser, Optik Systeme GmbH ein Gemeinschaftsunternehmen gegründet, das Entwicklung und Produktion von Strahlquellen des extrem ultravioletten Bereichs (EUV) zur Herstellung künftiger Chip-Generationen zum Ziel hat. Die beiden Gesellschaften beteiligen sich an der neu gegründeten "XTREME technologies GmbH" zu jeweils 50 Prozent. Die Gründung entspreche dem Ziel, für die Mikrolithographie eine Vier-Wellenlängen-Strategie anzubieten.
Beide Partner werden in das Entwicklungsprojekt je zweistellige Mio-DEM-Beiträge investieren. Während der ersten Etappe des Entwicklungsvorhabens, die bis 2004 läuft, sollen die Grundlagen für spätere Serienprodukte geschaffen werden, hieß es in der vwd-Meldung weiter.
Veröffentlichungsdatum:
18.05.2001
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10:48
Redakteur:
tba
