Drucken Lambda Physik gibt Joint-Venture mit Jenoptik beka

Die Lambda Physik AG hat mit der Jenoptik Laser, Optik Systeme GmbH ein Gemeinschaftsunternehmen gegründet, das Entwicklung und Produktion von Strahlquellen des extrem ultravioletten Bereichs (EUV) zur Herstellung künftiger Chip-Generationen zum Ziel hat. Die beiden Gesellschaften beteiligen sich an der neu gegründeten "XTREME technologies GmbH" zu jeweils 50 Prozent. Die Gründung entspreche dem Ziel, für die Mikrolithographie eine Vier-Wellenlängen-Strategie anzubieten.

Beide Partner werden in das Entwicklungsprojekt je zweistellige Mio-DEM-Beiträge investieren. Während der ersten Etappe des Entwicklungsvorhabens, die bis 2004 läuft, sollen die Grundlagen für spätere Serienprodukte geschaffen werden, hieß es in der vwd-Meldung weiter.

Veröffentlichungsdatum: 18.05.2001 - 10:48
Redakteur: tba