Das Laser-Meßsystem SIRD TM (Scanning Infrared Depolarization) diene der schnellen und berührungsfreien Analyse von Wafern zur frühzeitigen Erkennung von Fehlern in Wafern. Das neue SIRD-System mit vollautomatischer Auswertung wurde von Philips übernommen und im Werk in Hamburg erfolgreich installiert. Dies gab TePla im Rahmen einer Pressemitteilung bekannt.
Die erste Nachfolgebestellung über ein SIRD-System mit vollautomatischer Auswertung zur Yield- und Qualitätsverbesserung komme aus Großbritannien und werde zur Zeit bei dem Kunden installiert. Durch die Auslieferung dieser beiden Schlüsselsysteme könne die TePla AG einen siebenstelligen Umsatz im Bereich Metrologie verbuchen und liege damit voll auf Plan, hieß es in der Meldung weiter.
Veröffentlichungsdatum:
03.01.2001
-
11:03
Redakteur:
tba
