Lambda Physik-Joint Venture erhält ersten Auftrag von britischer Exitech
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Auftragsvolumen nicht benannt
Das Joint Venture XTREME technologies GmbH der Jenoptik AG und der Lambda Physik AG hat ihren ersten Auftrag für Extrem-Ultraviolett-Strahlquellen (EUV-Strahlquellen) erhalten. Wie vwd meldet, sei der britische Mikrostepper-Hersteller Exitech der Auftraggeber. Die Auslieferung der EUV-Strahlquellen sei für 2003 geplant, das Auftragsvolumen sei nicht genannt worden, so die Meldung weiter
