Drucken Lambda Physik-Joint Venture erhält ersten Auftrag von britischer Exitech

Das Joint Venture XTREME technologies GmbH der Jenoptik AG und der Lambda Physik AG hat ihren ersten Auftrag für Extrem-Ultraviolett-Strahlquellen (EUV-Strahlquellen) erhalten. Wie vwd meldet, sei der britische Mikrostepper-Hersteller Exitech der Auftraggeber. Die Auslieferung der EUV-Strahlquellen sei für 2003 geplant, das Auftragsvolumen sei nicht genannt worden, so die Meldung weiter

Veröffentlichungsdatum: 17.09.2002 - 10:22
Redakteur: tmu