Beim Bau der zweiten Chipfabrik des US-Halbleiterherstellers AMD in Dresden ist ein wichtiger Zwischenschritt erreicht worden. Nach einer Rekord-Bauzeit von nur zwölf Monaten hat Anfang Dezember die Installation der für die Produktion erforderlichen Prozessgeräte in den Reinraum begonnen. Den Generalübernehmer-Auftrag zum Anschluss der Prozessgeräte erhielt die Jenoptik-Tochter M+W Zander. Der Auftragswert beträgt mehr als 60 Mio. EUR und enthält auch eine Kapazitätserweiterung für die benachbarte erste Dresdner AMD-Halbleiterfabrik (AMD Fab 30). Vor rund einem Jahr hatte M+W Zander den Generalübernehmerauftrag für Planung und Bau der zweiten AMD-Fabrik in Dresden (AMD Fab 36) erhalten.
Die neue 300-Millimeter-Waferfabrik wird eines der weltweit modernsten Halbleiterwerke sein. Sie hat einschließlich Produktion, Energieversorgung-Center und Verwaltung eine Gesamtfläche von rund 120.000 Quadratmetern. Für den Neubau wurden knapp 13.000 Tonnen Baustahl verarbeitet und fast 17.000 Quadratmeter Mauerwerk errichtet. Über 80 Kilometer Rohrleitungen versorgen die Fabrik beispielsweise mit Reinstwasser, Gas und Chemikalien. Hinzu kommen 300 Kilometer Elektrokabel und weitere 1.500 Kilometer Kabel für Tele- und Datenkommunikation. Mitte nächsten Jahres soll die Produktion erster Test-Wafer beginnen. Die Auslieferung der ersten Produkte ist für das erste Halbjahr 2006 geplant.
Der M+W Zander Vorstandsvorsitzende Jürgen Gießmann erklärte heute während eines Pressegesprächs bei AMD in Dresden: "Wir sind stolz darauf, dass der Einbau und der Anschluss der Prozessgeräte pünktlich beginnen können. Das war angesichts schwieriger Wetterbedingungen und teilweise knapper Rohstoffe wie beispielsweise Stahl eine echte Herausforderung. Ich möchte allen Beteiligten für ihr Engagement danken. Dass M+W Zander nun auch den Auftrag für den Anschluss der komplexen Produktionsgeräte erhalten hat, zeugt vom großen Vertrauen unseres langjährigen Kunden AMD in unsere Fähigkeiten."
In der jetzt angelaufenen Hook-up-Phase, in der die Prozessgeräte angeschlossen werden, steuert und kontrolliert M+W Zander als Generalunternehmer den Anschluss der Geräte und ist gegenüber AMD für das pünktliche Hochfahren des Fertigungsprozesses, das "First Silicon In", mitverantwortlich. Dieser Termin ist für Mitte 2005 geplant. Die Produktionserweiterung der benachbarten AMD-Fab 30 wird bis Ende 2005 abgeschlossen sein.
Die reibungslose Installation der Prozessgeräte und der Anschluss an die Grundversorgung tragen den Angaben zufolge maßgeblich zum schnellen Anlaufen der Produktion bei. Herzstück des Hook-up Prozesses ist MTS, das Manufacturing Technology System von M+W Zander. Diese eigenentwickelte Datenbank erfasst alle wesentlichen Daten zum Prozessgerätepark und den Versorgungsmedien. Sie ermöglicht eine exakte, automatisierte Planung und steuert die Umsetzung des Installationsprozesses. Während der späteren Betriebsphase speichert die Datenbank die Verbrauchszahlen der Prozessgeräte und ermöglicht einen ständigen Abgleich mit den Kapazitäten der Grundversorgungssysteme.
