STEAG HamaTech hat in den letzten drei Monaten den Zuschlag für Großaufträge über mehreren Millionen Euro für seine neueste Prozessanlagen-Generation "ModuTrack" erhalten, die damit ihren Durchbruch am Markt feiert. Darüberhinaus wurde ein Abkommen mit der internationalen Kooperation SEMATECH abgeschlossen, welches sich auf die Entwicklung von Reinigungstechnologien für die nächste Generation der Halbleiterfabrikation konzentriert. SEMATECH ist ein Zusammenschluss weltweit führender Halbleiterhersteller, die sich zum Ziel gesetzt haben, die Entwicklung neuer Technologien gemeinsam zu treiben. Zum Konsortium gehören unter anderem AMD, Hewlett Packard, IBM, Infineon, Intel und Texas Instruments.
STEAG HamaTech hatte sich eigenen Angaben zufolge "aufgrund ihrer hohen technologischen Kompetenz als idealer Kooperationspartner für das "SEMATECH North EUV-Programm" qualifiziert", welches im führenden Nanotechnologie-Entwicklungszentrum der staatlichen Universität New York in Albany beheimatet ist. Im Rahmen dieses Programms wird bis 2007 gemeinsam mit Forschungsinstituten, Material- und weiteren Anlagen-Lieferanten die Technologie für hochwertigste Substrate und Photomasken der nächsten Lithografie-Generation, der so genannten "EUV-Lithografie" (Extreme Ultraviolet) zur Marktreife entwickelt. STEAG HamaTech ist hierbei verantwortlich für die Entwicklung von Reinigungstechnologien für Defekte ab 30 Nanometern, was bedeutet, dass die zulässige Größe um den Faktor drei kleiner als heute ist. "Dies entspricht in etwa der Aufgabe, die Fläche einer Kleinstadt von jeglichen Verschmutzungen größer als einem Sandkorn zu befreien", erklärt Dr. Peter Dreß, Leiter der Abteilung Forschung & Entwicklung des Geschäftsbereiches Advanced Process Equipment. Das Team der STEAG HamaTech setzt hierfür die neu entwickelte modulare Anlagengeneration "ModuTrack" ein, die sich durch ein hohes Maß an Flexibilität sowie Erweiterbarkeit auszeichnet und somit die schnellstmögliche kommerzielle Verfügbarkeit der Neuentwicklungen zulässt.
Der Vorstandsvorsitzende der STEAG HamaTech, Dr. Stefan Reineck, erläutert: "Es ist unser erklärtes Ziel, bei den Neuentwicklungen auf dem Halbleiterbereich immer in der ersten Liga mitzuspielen. Gerade in dieser Branche ist es unerlässlich, hochentwickelte Technologie zeitnah anzubieten. Wir sind gegenwärtig in mehrere Forschungsprojekte involviert - sowohl mit führenden Chip-Herstellern als auch in staatlich geförderten Projekten," führt der promovierte Physiker weiter aus. "Dies unterstreicht die strategische Ausrichtung der STEAG HamaTech als Technologieanbieter für Halbleiterproduzenten."
