AIXTRON: OVPD(R)-Technologie von führendem OLED-Hersteller RiTdisplay Corp. qualifiziert
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Technischer Durchbruch für zukünftige Massenproduktion von organischen Leuchtdioden (OLEDs)
AIXTRON gab heute bekannt, dass RiTdisplay Corporation, der führende Hersteller von OLED-Displays, die Abnahme der ersten AIXTRON Gen2 OVPD(R)-Anlage für die Massenproduktion von OLEDs (organische Leuchtdioden) unterzeichnet hat.
Nach Einschätzung des Unternehmens ist die Qualifizierung der AIXTRON Gen2-Produktionsanlage ein technischer Durchbruch für die OVPD(R)-Technologie, da diese möglicherweise die herkömmlichen OLED-Herstellungsverfahren wie z. B. Vacuum Thermal Evaporation (VTE) ersetzen wird.
Die Engineering-Teams von RiTdisplay und AIXTRON konnten die OVPD(R)-Technologie gemeinsam für die Produktion von OLED-Bauelementen für Farbdisplay-Anwendungen qualifizieren. Die während des Beta-Test hergestellten OLED-Bauelemente zeigten bessere Leistungscharakteristika als jene Displays, die mit herkömmlicher Technologie (VTE) hergestellt wurden.
OVPD(R) basiert auf dem Prinzip des Gasphasentransportes und der patentgeschützten Close Coupled Showerhead (CCS)-Technologie von AIXTRON und hat gegenüber der herkömmlichen Vacuum Thermal Evaporation (VTE)-Technologie wesentliche Vorteile: die präzise Kontrolle von Abscheidungsraten, eine dauerhafte Prozessstabilität und reproduzierbarkeit, ein hoher Durchsatz aufgrund hoher Abscheidungsraten, eine hohe Ausbeute aufgrund einer hervorragenden Homogenität, niedrige Wartungs- und Betriebskosten aufgrund einer äußerst effizienten Materialausnutzung etc. Darüber hinaus ermöglicht der Gasphasenprozess die Realisierung weiter entwickelter Bauelementstrukturen wie z.B. Schichten mit Konzentrationsgradienten.
Die OVPD(R)-Technologie wurde exklusiv von Universal Display Corporation (UDC), Ewing, N.J./USA, an AIXTRON zum Bau von Anlagen lizensiert. Sie basiert auf einer Erfindung von Professor Stephen R. Forrest et. al. an der Princeton University, USA, die wiederrum exklusiv an UDC lizenziert wurde. AIXTRON und UDC haben gemeinsam einen OVPD(R)-Prototypen zur OLED-Herstellung entwickelt und qualifiziert.
